圖1:可量產(chǎn)30cm寬的石墨烯薄膜
(a)是產(chǎn)綜研開(kāi)發(fā)的石墨烯薄膜量產(chǎn)用SWP-CVD裝置的概要。將內(nèi)部插有天線的圓筒狀石英管排列起來(lái),向其中加載2.45GHz的交流電壓,由此產(chǎn)生等離子。(b)是產(chǎn)綜研在2012年2月展會(huì)上展出的“石墨烯觸摸面板”。
適用于透明導(dǎo)電膜
作為用于多種用途的透明導(dǎo)電膜,石墨烯的特性非常出色。比如光透射率較高。單層石墨烯的光透射率在理論上為97.5%。由于透射率沒(méi)有波長(zhǎng)依賴性,因此對(duì)于對(duì)太陽(yáng)能電池來(lái)說(shuō)非常重要的近紅外區(qū)電磁波,石墨烯具有較高的透射性。而且,針對(duì)機(jī)械彎曲的耐久性也較高。石墨烯非常薄,幾乎不會(huì)出現(xiàn)其他薄膜存在的光封存問(wèn)題。
另外,石墨烯針對(duì)水蒸氣的氣體阻隔(Gas Barrier)性在理論上為10-11g/m2/日,可以滿足有機(jī)EL面板封裝所需要的10-6g/m2/日。
關(guān)于石墨烯薄膜的薄膜電阻值,“我們制作的產(chǎn)品當(dāng)光透射率為87%時(shí),薄膜電阻值為500Ω/□”(產(chǎn)綜研的長(zhǎng)谷川),雖然還稍微有些大,但“以前的薄膜電阻值卻在1kΩ/□左右。今后計(jì)劃進(jìn)一步降低電阻值”(長(zhǎng)谷川)。正在考慮與導(dǎo)電性較高的金屬納米網(wǎng)片(Mesh Sheet)等組合使用的解決方案。