半導(dǎo)體材料氣體檢測
檢測對象
H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
檢測濃度
1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
檢測原理
熱線型半導(dǎo)體式
采樣方式
自動吸引式
應(yīng)用行業(yè)
半導(dǎo)體制造
產(chǎn)品詳情
PRODUCT DETAILS
產(chǎn)品描述:半導(dǎo)體材料氣體檢測
可檢測微量的半導(dǎo)體材料氣體泄漏,可對半導(dǎo)體工廠等使用毒性氣體的場所進行泄漏檢測,
也可對氫氣相關(guān)設(shè)備提供安全保障。
01.產(chǎn)品特點
· 小型·輕量
· 可以檢查非常微量的氣體泄漏
· 適合氫氣相關(guān)設(shè)備的安全防護
· 搭載的泵有自動停止功能
· 搭載[自動氣體排氣模式]功能
· 保護等級約為IP22(JIS C 0920)※安裝皮套時
02.產(chǎn)品用途
· 半導(dǎo)體工廠/石油化學工廠等
· 在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場進行泄漏檢測
03.產(chǎn)品參數(shù)