雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人 負(fù)載：95KG 動(dòng)態(tài)范圍：2300mm 控制柜：DX100 用途：搬運(yùn)、潔凈室
*1：動(dòng)作節(jié)拍不保證帶有基板時(shí)搬運(yùn)速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產(chǎn)生共振時(shí)，會(huì)影響動(dòng)作節(jié)拍，請重新設(shè)定。 *2：依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)的動(dòng)作重復(fù)定位精度。但有無工件時(shí)負(fù)載變動(dòng)以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內(nèi)。
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