產(chǎn)品描述
1、用于PERC太陽(yáng)能電池和IBC太陽(yáng)能電池
2、采用皮秒或超短脈寬納秒激光器
3、開膜圖形可自由設(shè)定：實(shí)線、虛線、圓點(diǎn)等
4、自動(dòng)化程度高，產(chǎn)能達(dá)到3600pcs/h以上
5、采用柔性傳輸機(jī)構(gòu)，碎片率低于0.5‰
6、標(biāo)配自動(dòng)上下料，可靠性高
7、內(nèi)置除塵裝置，節(jié)省設(shè)備的占地面積
技術(shù)參數(shù)
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薄膜厚度
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﹤200nm |
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加工范圍
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180mm×180mm |
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激光器
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532nm，納秒級(jí)（皮秒備選） |
| 硅片尺寸 |
156mm×156mm，兼容125mm×125mm |
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UPH
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≥3600PCS，1mm線間距 |
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Uptime
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≥98.5%，正常運(yùn)行時(shí)間 |
| MTBF |
≥250hours，平均無故障時(shí)間 |
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MTTR
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≤12hours，平均恢復(fù)時(shí)間 |
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Yield
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≥99.80%，滿產(chǎn)率
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碎片率
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≤0.5‰ |
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開膜加工寬度
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30~60um |
| 開膜加工速度 |
≥20000mm/s |
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線寬
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40±5um |
| 其他功能 |
1、可用于SIOx、ALOx與SINx膜層的消除
2、自動(dòng)識(shí)別破片和未加工硅片
3、具有功率監(jiān)控裝置
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應(yīng)用領(lǐng)域
用于PERC太陽(yáng)能電池和IBC太陽(yáng)能電池
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