簡介
適用于真空環(huán)境內(nèi)*大搬運(yùn)尺寸達(dá)730*920mm雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人!
主要參數(shù)
機(jī)器人型號: |
SEMISTAR-VD95D |
構(gòu)造: |
水平多關(guān)節(jié)形(4個(gè)自由度) |
動態(tài)范圍: |
2300mm |
負(fù)載: |
95kg/手臂 |
本體質(zhì)量: |
1500kg |
重復(fù)定位精度: |
±0.3mm |
用途: |
搬運(yùn)、潔凈室 |
特點(diǎn)
大動作范圍:*大搬運(yùn)尺寸達(dá)730*920mm雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人。
手臂采用連桿機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)高鋼性。
采用真空內(nèi)傳送帶驅(qū)動實(shí)現(xiàn)低放出氣體性能。
手臂可內(nèi)置基板傳感器用配線。