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發(fā)布信息

川崎機(jī)器人 TTS 無(wú)塵機(jī)器人
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型號(hào)： TTS
單價(jià)： 面議
所在地： 上海
有效期至： 長(zhǎng)期有效
最后更新： 2024-06-27 10:21
瀏覽次數(shù)： 542
店鋪基本資料信息
 
 產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
 TTS系列機(jī)器人

TTS系列可以用一臺(tái)機(jī)器人在沒(méi)有走行裝置的情況下對(duì)應(yīng)從2FOUP到3FOUP的EFEM。具備川崎**的驅(qū)動(dòng)部分，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高剛性的動(dòng)作。 同時(shí)，由于采用了上下軸伸縮式的結(jié)構(gòu)，因此無(wú)論是想將物品搬至高處或是低處，此設(shè)備都能做到。




川崎機(jī)器人

TTS系列機(jī)器人規(guī)格

項(xiàng)目 標(biāo)準(zhǔn) 選項(xiàng)
型號(hào) TTS10 TTS20 -
構(gòu)造 水平多關(guān)節(jié)型、伸縮水平多關(guān)節(jié)型 -
臂 單手臂 雙手臂 -
自由度(軸) 4 5 -
動(dòng)作范圍 θ1軸 (旋轉(zhuǎn)JT2) (°) 340 -
Z軸 (上下JT3) (㎜) 740 -
θ2軸 (旋轉(zhuǎn)JT4) (°) 340 -
H1軸 (旋轉(zhuǎn)JT6) (°) 340 -
H2軸( 回転JT7) (°) - 340 -
*大臂展 (mm) 1,066 -
重復(fù)性 (mm)1 ±0.1 (晶圓中心) -
無(wú)塵度2 ISO1級(jí) -
抓手規(guī)格3 - - 邊緣夾持式 / 真空吸附式
控制柜 D60 示教器
分離電纜(1-5m)4 操作盒
軟件 標(biāo)準(zhǔn)軟件 KRET
KMTerm KR3D
KSUtility Lite KSUtility
手冊(cè) 使用說(shuō)明書 -
通信說(shuō)明書 -
通用軟件 (K-Fast) 導(dǎo)入說(shuō)明書 -
否則 - 校準(zhǔn)器
- 測(cè)繪傳感器
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