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發(fā)布信息

川崎機器人 NTS 無塵機器人
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型號： NTS
單價： 面議
所在地： 上海
有效期至： 長期有效
最后更新： 2024-06-27 10:21
瀏覽次數(shù)： 465
詢價
店鋪基本資料信息
 
 產(chǎn)品詳細說明
 NTS系列機器人
NTS系列可以用一臺機器人在沒有走行裝置的情況下對應(yīng)從2FOUP到3FOUP的EFEM。具備川崎**的驅(qū)動部分，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高剛性的動作。


川崎機器人

NTS系列機器人規(guī)格

項目 標準 選項
型號 NTS10 NTS20 -
構(gòu)造 水平多關(guān)節(jié)型 -
臂 單手臂 雙手臂 -
自由度 (軸) 4 5 -
動作范圍 θ1軸 (旋轉(zhuǎn)JT2) (°) 340 -
Z軸 (上下JT3) (㎜) 470 -
θ2軸 (旋轉(zhuǎn)JT4) (°) 340 -
H1軸 (旋轉(zhuǎn)JT6)(°) 340 -
H2軸 (回転JT7) (°) - 340 -
*大臂展 (mm) 1,066 -
重復(fù)性 (mm)1 ±0.1 (晶圓中心) -
無塵度2 ISO1級 -
抓手規(guī)格3 - - 邊緣夾持式 / 真空吸附式
控制柜 D60 示教器
分離電纜 (1-5m)4 操作盒
軟件 標準軟件 KRET
KMTerm KR3D
KSUtility Lite KSUtility
手冊 使用說明書 -
通信說明書 -
通用軟件 (K-Fast) 導(dǎo)入說明書 -
否則 - 校準器
- 測繪傳感器
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