應用:

• 無塵室
• 卓越的伸展距離
  單個的NT系列手臂可以伸展到四個FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP*多到五個。
  高吞吐量
  標準NT機器人的吞吐量是用校準器280晶圓每小時（WPH）與不用校準器400WPH�？捎眠x配的抓手，增加吞吐量到700WPH。
  SEMI F47合規(guī)
  NT型號可以瞬時響應電波動，如電壓下降，并且在電壓恢復時自動恢復運行。
  SEMI S2合規(guī)
  NT型號可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。
  碰撞檢測
  軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設備的損壞。
  懸掛式安裝
  NT620型號具有吊裝規(guī)格設計，用于在化學液體環(huán)境中使用，同時滿足ISO1級的要求。
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