*高的精度和穩(wěn)定性

用硅改善性能：

利用DRiE工藝進行硅加工的示例

DRiE工藝水

• 我們在制造TERPS諧振器元件時充分利用了硅的力學(xué)性能。
• 為了優(yōu)化和平衡諧振器的設(shè)計，我們采用了深度反應(yīng)離子刻蝕（DRIE）硅技工技術(shù)。 DRIE可以設(shè)計具有復(fù)雜和多變幾何形狀的結(jié)構(gòu)。
• 精度為0.01% FS（100 ppm）
• 穩(wěn)定性為0.01% FS/年（100 ppm）

壓力和溫度范圍大

硅熔融黏結(jié)工藝：  

• TERPS僅根據(jù)硅的力學(xué)性能進行設(shè)計，可以用于 -40 至to 85 °C（-40至185 °F）的溫度范圍。
• 這種設(shè)計還可以通過硅熔融黏結(jié)（SFB）工藝在諧振器上黏結(jié)不同厚度的硅，以便于用于高達70 bar（1000 psi）的壓力范圍。

TERPS 傳感器元件橫截面	SFB硅層橫截面

堅固和可靠的包裝

深度反應(yīng)離子刻蝕（DRIE）可以設(shè)計具有復(fù)雜和多變幾何形狀的結(jié)構(gòu)，并且可以使諧振器位于水平面上。 諧振器必須具有足夠的剛度，以將能量損失降至*低，并采用油浸絕緣結(jié)構(gòu)。

全焊TERPS模塊可以使頂級設(shè)計工程師利用標(biāo)準(zhǔn)材料包裝傳感器。 這種產(chǎn)品封裝在316L不銹鋼模塊中，起調(diào)節(jié)作用的電子設(shè)備位于25mm的主體管中。它提供一系列壓力和電氣接頭。